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性能和規格
外形尺寸
應用領域
- 半導體和平板顯示器制造
- LED制造
- 鍍膜設備
- 制冷設備和空調的元件及部件
- 低溫壓力容器
- 閥門氣密性
- 撿漏航空部件，配件及系統
在需要超高真空的真空工業和分析科學應用中，TMP的性能必須滿足嚴格的要求。TMP-B300是一款低功率、緊湊型渦輪分子泵，高度為195毫米，帶有一體式控制器，可在空間受限的環境中垂直、倒置或水平安裝。本設備允許1000 Pa的高前級壓力以支持隔膜泵等小型前級泵。
此外，本設備還配備了易用型集成控制面板，在約280 L/s的抽速下，僅以180 W的低功耗工作。
1179A01312CR1BV-K [ MKS ] 質量流量控制器 1179A01312CR1BV-K，氣體：N2，范圍：100SCCM，類型：VCR，D-SUB 15P
1479A01353CR1BM [ MKS ] 質量流量控制器 1479A01353CR1BM，氣體：N2，范圍：5SLM，類型：VCR
649A12T51CAVR-S [ MKS ] 質量流量控制器 649A12T51CAVR HE 50SCCM, 100Torr SPCAL 649A-14943S [ MKS ] 質量流量控制器 649A-14943S HE 50SCCM VCR 15P 50Torr / SPF 1013 P8A-26808 [ MKS ] 質量流量控制器 MV-1242-PV H2O 3G/MIN VCR DLT2A2231A1P210 [ MKS ] 質量流量控制器 DLT2A2231A1P210 N2 2SLM VCR 9P
性能和規格
外形尺寸
應用領域
- 半導體和平板顯示器制造
- LED制造
- 鍍膜設備
- 制冷設備和空調的元件及部件
- 低溫壓力容器
- 閥門氣密性
- 撿漏航空部件，配件及系統
在需要超高真空的真空工業和分析科學應用中，TMP的性能必須滿足嚴格的要求。TMP-B300是一款低功率、緊湊型渦輪分子泵，高度為195毫米，帶有一體式控制器，可在空間受限的環境中垂直、倒置或水平安裝。本設備允許1000 Pa的高前級壓力以支持隔膜泵等小型前級泵。
此外，本設備還配備了易用型集成控制面板，在約280 L/s的抽速下，僅以180 W的低功耗工作。
1179A01312CR1BV-K [ MKS ]
質量流量控制器 1179A01312CR1BV-K，氣體：N2，范圍：100SCCM，類型：VCR，D-SUB 15P
1479A01353CR1BM [ MKS ]
質量流量控制器 1479A01353CR1BM，氣體：N2，范圍：5SLM，類型：VCR
649A12T51CAVR-S [ MKS ]
質量流量控制器 649A12T51CAVR HE 50SCCM, 100Torr SPCAL
649A-14943S [ MKS ]
質量流量控制器 649A-14943S HE 50SCCM VCR 15P 50Torr / SPF 1013
P8A-26808 [ MKS ]
質量流量控制器 MV-1242-PV H2O 3G/MIN VCR
DLT2A2231A1P210 [ MKS ]
質量流量控制器 DLT2A2231A1P210 N2 2SLM VCR 9P
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