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深圳市天鉉真空技術有限公司
ISP-500C 無油渦卷式真空泵 技術資料
| 替換率 | |
| 50 Hz | 30 m3h-1 / 17.6 ft3min-1 |
| 60 Hz | 36 m3h-1 / 21.2 ft3min-1 |
| 高抽氣速度 | |
| 50 Hz | 25 m3h-1 / 16.1 ft3min-1 |
| 60 Hz | 30 m3h-1 / 17.6 ft3min-1 |
| 真空度 | 1 x 10-2 mbar / 7.5 x 10-3 Torr |
| 入口連接 | NW40 |
| 出口連接 | NW25 |
| 入口可承受壓力 | 1000 mbar |
| 出口可承受壓力 | 1150 mbar |
| 電機功率 | 0.6 kW |
| 電源供應 | |
| 1-phase, 50Hz | 100/200/230 V |
| 1-phase, 60Hz | 100/115/200/230 V |
| 3-phase, 50Hz | 200/380/415 V |
| 3-phase, 60Hz | 200/208/230/460 V |
| Recommended contactor rating, 3-ph | |
| 200-230 V | 5 A |
| 380-460 V | 3 A |
| 防護等級 | IP44 |
| 密封性能(靜態) | 10-4 mbar l s-1 |
| 作動溫度范圍 | 5 to 40 °C / 41 to 104 °C |
| 重量 | |
| 3-phase pump | 40 kg / 88 lbs |
| 1-phase pump | 25 kg / 55 lbs |
ISP 500C 無油渦卷式真空泵 應用
- 掃描式電子顯微鏡
- 離子植入（電子束及終端裝置）
- 一般清潔的抽真空應用
- 濺鍍
- 渦輪分子泵的前級泵
- 稀有氣體再循環
- 膠材干燥
- 旋轉蒸鍍設備
- 離心濃縮
- 真空爐
- 手套箱
- 真空腔體粗抽使用
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