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ESR系列（節能型羅茨泵）是多級干式真空泵，設計用于從清潔到中負荷工藝的各種應用。ESR系列的泵速范圍從35到1,625 CFM，極限壓力低至1 mTorr。
1 x EBARA GENESIS泵522-023
1 x EBARA GENESIS泵522-021
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EBARA 305W渦輪分子泵控制器。
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1 x EBARA GENESIS真空泵522-223
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Ebara AAS20N干式真空泵經過測試工作
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305W /渦輪分子泵控制器＃305W / EB原
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Ebara 50DVSL61.5泵USIP
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EBARA EV-S20P干式真空泵，正常工作
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EBARA AA10，干式泵，真空干式泵，
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EBARA GENESIS真空泵524-421
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bar原干式泵A70W，使用中
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